CD测量
光学测量是一种非接触式、非破坏性的」测量技术,它精确且快速,可通过从CCD图像中提取结构强度信息来◤计算宽度。下方左图简要说明了提取的原理。紫色矩形ROI框定义了结构中需要测量的部分,测得的宽度是在ROI框内沿线的平均宽度。强度分布图必须█要进行额外处理,以使其免受噪声或变形的干扰(如统计光子噪声或光学衍射效应引起的变形)。MueTec测量系统已具备消除这类干扰的功能。对于低于0.7微米的特征结构, MueTec系统可使用UV照明(365nm)。 特别是在微电子学领域,MueTec已经开发出一些非常特殊、复杂的选项来支ㄨ持测量具有特定布局的结构,例如排列非常紧密的线和空间布局,掩模上的点和孔,以及其他特定的存储器结构。MueTec在CD测量中实现的高精度和高性能来源于□ 高质量的光学元件,最佳的激光自动对焦系统与MueTec的软件相结合的结果。通过长期为客户提供定制化以及复杂的解决方案,使MueTec在测量系统制造领域中处理行业领先地位。
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